سلکان پریشر سینسر کی صلاحیتیں اور حدود

پریشر سینسر جو فی الحال دستیاب ہیں یا جو مستقبل قریب میں مارکیٹ کیے جائیں گے ان کا تعلق کیپسیٹیو اور پیزوریزسٹیو سینسر کے زمروں سے ہے۔

Capacitive پریشر سینسر کی بنیاد ایک پتلی سنگل کرسٹل لائن یا پولی کرسٹل لائن سلکان ڈایافرام ہے۔ میٹرولوجیکل نقطہ نظر سے، یہ سینسر ایک اعلی دباؤ کی حساسیت اور نمایاں طور پر کم درجہ حرارت کی حساسیت کی خصوصیت رکھتے ہیں۔ وہ تقریباً 300 ڈگری درجہ حرارت تک کام کر سکتے ہیں اور تقریباً ہسٹریسس سے پاک رہتے ہیں۔ دوسری طرف، وہ غیر لکیری ہیں، لیکن ان کے رویے کا تعین ان کے معمول کے ردعمل سے ہوتا ہے۔ Piezoresistive sensors سلکان ڈایافرام پر مشتمل ہوتے ہیں جن پر تناؤ — تناؤ کے گیجز یا تو جمع ہوتے ہیں یا لگائے جاتے ہیں۔ ڈایافرام ایک تناؤ یمپلیفائر کے طور پر کام کرتا ہے۔ یہ سینسر تناؤ کی کم سطح پر ایک لکیری ردعمل ظاہر کرتے ہیں۔ مونوکرسٹل لائن سلکان گیجز لیزر ری کرسٹلائزڈ پولی سیلیکون گیجز سے دو یا تین گنا زیادہ پریشر کی حساسیت کی خصوصیت رکھتے ہیں۔ piezoresistive sensors کے ساتھ پیش آنے والا سب سے بڑا مسئلہ ان کی اعلی درجہ حرارت کی حساسیت ہے، جسے ریزسٹر کمپنسیشن نیٹ ورکس کے ذریعے کم کرنا پڑتا ہے۔ ڈایافرام میں پھیلے ہوئے یا لگائے گئے گیجز والے سینسر 200 ڈگری تک کام کرنے کے قابل ہونے چاہئیں، جب کہ جمع شدہ گیجز درجہ حرارت کی حد کو 300 ڈگری تک بڑھا دیتے ہیں۔ معمول کے جوابات کا موازنہ اس بات کی نشاندہی کرتا ہے کہ پیزوریزسٹیو سینسر کے دباؤ کی حساسیت اہلیت والے سینسر سے کم ہے۔

سلیکون پریشر سینسرز کی دیگر اقسام میں سے، MOST گیج سینسرز کے ساتھ ساتھ گونجنے والے سینسر فریکوئنسی ماڈیولڈ آؤٹ پٹ دینے کا فائدہ پیش کرتے ہیں۔ مطلق خلا کی پیمائش کے لیے چھوٹے کیپیسیٹینس ڈایافرام گیج

اقتباس اقتباس:

فریکچر کا تناؤ، جس میں سے کمرے کے درجہ حرارت میں سلکان کی قدر تقریباً 300 MPa سے لے کر 7 GPa [27,28] تک ہوتی ہے، ایک انتہائی اہم پیرامیٹر ہے جس پر ڈیزائن میں غور کیا جانا چاہیے۔ ڈایافرام کو ٹکڑے ٹکڑے کیا جا سکتا ہے جب زیادہ سے زیادہ دباؤ فریکچر کے دباؤ سے زیادہ ہو [29]۔ لہذا، ڈایافرام کو زیادہ دباؤ میں محفوظ طریقے سے کام کرنے کے لیے کچھ حفاظتی اقدامات کرنے کی ضرورت ہے۔

خلاصہ دکھائیں:

SOI بلٹ ان ہیٹ اسپریڈر جس میں درجہ حرارت اور پریشر انٹیگریٹڈ سینسرز کولنگ آپٹیمائزیشن اور ان سیٹو مانیٹرنگ کے لیے ہیں

2011، مواد سائنس اور انجینئرنگ B: اعلی درجے کی ٹیکنالوجی کے لیے ٹھوس ریاستی مواد

اقتباس اقتباس:

حساس عناصر پیزوریزسٹر ہیں جو کرسٹل لائن سی (تصویر 4) میں ڈوپڈ علاقوں پر مشتمل ہیں، جو کہ وہیٹ اسٹون برج کی ترتیب میں جڑے ہوئے ہیں۔ جب جھلی پر دباؤ ڈالا جاتا ہے، ہوائی جہاز میں دباؤ کیریئر کی نقل و حرکت کو تبدیل کرتا ہے، گیجز کی برقی مزاحمت کو تبدیل کرتا ہے اور اس وجہ سے پل آؤٹ پٹ پر غیر صفر آؤٹ پٹ وولٹیج پیدا کرتا ہے [14]۔ piezoresistive گتانک ڈوپنگ کی قسم اور ارتکاز، درجہ حرارت اور کرسٹل لائن واقفیت [15,16] پر منحصر ہیں، زیادہ سے زیادہ مزاحمتی تغیرات ڈوپنگ کی قسم پر منحصر کرسٹل لائن سمت کے ساتھ حاصل کیے جا رہے ہیں۔